赢咖7对射频真空等离子表面处理设备阳极鞘层知识点进行补充
文章导读：在2020年2月1日的文章中，赢咖7向大家介绍了射频真空等离子表面处理设备阳极鞘层的部份知识点，还有一些补充信息需要给大家分享：
在2020年2月1日的文章中，赢咖7向大家介绍了射频真空等离子表面处理设备阳极鞘层的部份知识点，还有一些补充信息需要给大家分享：
1 射频真空等离子表面处理设备空间电荷限制的阳极电流
在阴极鞘层中考虑限制电流量的空间电荷效应时，我们假设只存在一种载流子是允许的，因为那里的电子密度已经小到可以忽略不计；但是在阳极鞘中情况就不一样了，电子密度不一定能够被忽略。特别是存在阳极二次电子发射时更不能被忽略，因此无碰撞条件下的Child-Langmuir方程在此是不适用，需要建立适合二种载流子的模型。然而这一类模型的实验验证却是相当地困难，问题在于鞘电压和鞘厚均很小，测定起来误差太大。
2 射频真空等离子表面处理设备阳极鞘层的极性
一般情况下，阳极鞘层的极性较之负辉区等离子体来说处于低电位，在以上的一些讨论中通常也都是这样假设的。但实际上也并非总是如此，如果遇下面情况之一阳极的极性便会发生逆转。
2-1当阳极二次电子发射系数很大时。
2-2当阳极尺寸太小时，阳极鞘中电流形成机制自身调适就会发生极性逆转。当阳极面积小到一定程度时，阳极电位达到与负辉区等离子体等电位；这时电子电流密度增大到饱和值。至此，如果阳极面积再减小的话，鞘层极性便会发生逆转。随之离子电流减小而净电子电流进一步增大。
3 射频真空等离子表面处理设备阳极鞘层的主要作用
在通常情况下，即阳极电位低于负辉区的等离子体电位时，可以使阳极发射的二次电子加速进入负辉区，同时使从负辉区来的离子加速到达阳极或置于阳极的基片表面。由此可见，虽然阳极鞘层薄，其中不会产生显著电离，但被鞘电压加速的二次电子可作为负辉区的电子源和能量源；而负辉区又是阳极鞘层的离子源。
更多关于射频真空等离子表面处理设备阳极鞘层详细内容赢咖7陆续会在之后文章中再与大家进行交流。
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