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惨!一招不慎,等离子清洗产品越洗越脏?

返回列表 来源:赢咖7注册 浏览: 发布日期:2018-08-11 20:44【
文章导读:真空等离子清洗设备被广泛应用于精密电子、半导体、高分子材料等领域,但是如果设备操作不当,可能会导致产品二次污染,经济损失惨重。赢咖7的小伙伴借用以下的案例来提醒大家!
1、问题:某客户反映在真空等离子清洗设备使用中出现了产品被油污污染的情况,且并不是同一台设备出现此问题。
 
2、原因分析:根据客户设备操作人员提供的信息及赢咖7在现场进行设备检查发现,出现真空室内产品受污染的原因为设备出现报警后,设备操作不当导致真空泵产生的部分油气被倒吸入真空室内所至。
 
3、具体说明:真空等离子清洗设备在待机状态通常真空泵是运行的,主要是通过高真空气动挡板阀(挡板阀)的打开与关闭实现对真空室的抽真空功能。在设备运行过程中,如出现真空泵倒计时故障、真空泵热过载故障、电源偏差及反射过大等报警时,为保护设备关键配件不受损坏,设备将自动停机(包括真空泵)。
设备报警停机后高真空气动挡板阀也自然关闭,但真空室内仍处于高真空状态。如在设备出现故障停机的情况后,操作人员没有按使用规范及时的进行破真空或开启真空泵的动作,而是在自动界面直接点击启动按键,那么此时高真空气动挡板阀至真空室内处理于高真空状态,而高真空至真空泵端为常压状态。此时高真空气动挡板阀打开后,真空泵端如有残余的油气,那么油气便会受真空室内负压的作用被倒吸入真空室内,造成真空室内产品的污染。
 
4、解决方案:

4-1规范等离子清洗设备使用人员的操作
当设备出现报警停机时及时进行破真空动作和确认真空泵是否因报警停机;如出现真空泵停机的状况需将真空泵开启后再继续使用设备。

4-2增加控制电路的互锁功能
除对操作人员进行使用规范外,考虑到人员的流动性及操作规范的执行力等因素,赢咖7也考虑从设备控制方面进行简单有效的优化,增加真空泵启动与高真空挡板阀启动间的互锁功能,保证在真空泵未开启的状态下无法启动高真空气动挡板阀,以达到防止误操作而造成真空室返油的情况。

4-3方案的具体介绍
在正常状态下,真空泵与高真空气动挡板阀是分别独立控制的,如下图中间继电器接线情况实景所示:左起第二个中间继电器(K1)实现对真空泵的控制,左起第七个中间继电器(K7)实现对高真空气动挡板阀的控制,两者都接收到信号后相对应的中间继电器吸合实现对负载的控制。

 
为了保证不出现因误操作而造成真空室吸入油气的情况,则需要保证K1在非工作状态下K7中高真空气动挡板阀控制线k7与L7不通电,此时将电控中的L7线移至K1中的另一对常开触点的一端,从另一端再接一根线连接至K7中原L7线的接线处。这样便实现了真空泵与高真空气动挡板阀的互锁,保证真空泵不工作的状态下高真空气动挡板阀无法打开。如下图所示:

图上蓝色线表示原L7转至K1的常开触点一端,红色线表示新增加的线路。
 
以上这种方式为简单有效的防范改造方式,操作简单且安全可靠,但为了保证产品质量,还是要规范等离子清洗设备使用人员的操作规范,在设备出现故障停机时应该及时进入手动界面进行破真空动作,如果设备停机时间较长,且产品一直在高真空状态下的真空室内,也会对产品造成影响。
 
本案例的剖析对您有什么启发吗?类似问题和解决办法欢迎大家留言与我们交流和分享。

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