DBD介质阻挡等离子表面处理机放电有何规律?
文章导读:DBD介质阻挡等离子表面处理设备也是一种常见的等离子清洗机,其放电原理有一定的特点,那么DBD介质阻挡等离子表面处理机放电原理是怎样的?有没有什么规律呢?
DBD介质阻挡等离子表面处理机的电极通常有平板式、圆柱式和沿面放电式几种形式,但无论是哪种形式,DBD等离子处理设备在放电的初期都是由无数微小的放电丝组成,因而能够借助对丝状放电的分析来寻找DBD介质阻挡放电中的规律。
从放电原理上来看,当DBD等离子表面处理机电极的两端施加高压,阴极附近的气体会在电场作用下电离并产生电子。在气体被完全击穿之前,这些电子会在电场中加速,当能量达到一定程度时,就会产生电子雪崩。单根细丝放电的演化如下图所示。
DBD等离子表面处理机工作时,电子具有较强的可流动性,使其在可测量的纳秒级范围内越过气体间隙。当电子雪崩在气体间隙发生并产生定向移动的时候,离子会因为运动比较慢而被停留在后面慢慢在放电空间产生累积。空间电荷的产生使DBD等离子表面处理机的放电空间的电场发生畸变,进而使电极间空气间隙的电场强度大于或等于周围气体的击穿场强,使得在较短的时间内气体电离快速增加,造成 单个丝状放电的发生。
DBD等离子表面处理机在1个标准大气压条件下,粒子间的碰撞频率高,一个正在变大的电子雪崩在较短的距离就能够产生相当规模的电荷密度。电子和离子飘移速度差异导致电荷分离,进而使局部电场在原电场基础上得到叠加,场强变大。在流柱头部的高场强区,碰撞电离造成 电离区域的快速增长,进而产生明亮的等离子体通道。可是在介质阻挡放电过程中,鉴于DBD等离子表面处理机介质层的存在限定了电流的自由增加,因而也阻止了金属电极间火花或弧光放电的产生。
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