用于等离子清洗机参数诊断的朗缪尔探针是什么样的？
文章导读：等离子清洗机处理效果的影响因素有很多，等离子参数是重要的影响因素，那么能够知道，对等离子清洗设备的等离子体参数进行测量和诊断是具有重要意义的。
等离子清洗机处理效果的影响因素有很多，等离子参数是重要的影响因素，那么能够知道，对等离子清洗设备的等离子体参数进行测量和诊断是具有重要意义的。测量和诊断等离子体参数的方式比较多，朗缪尔探针法就是沿用至今的一种常见诊断方式，那么这种朗缪尔探针法是什么样的呢？
朗缪尔探针法本质上是使用一种静电探针，通过将一根金属探针插入到等离子体中，并对其施加正或负的偏置电压以收集电子或离子电流。与任何其他电极一样，探针周围会形成一个鞘层，且面积通常是非常小的，因此，在适当的条件下，它们只对等离子清洗机的等离子体产生小的局域干扰。上图示出了一个探针的电压和电流的定义。
在实际的参数诊断过程中，探针相对于地的偏置电压为VB,而等离子体相对于地的电位为φp。当探针电压Vb=φp时，探针处于与等离子体相同的电位，此时它收集到的电流主要来自易动的电子。当增加Vb并使其超过φp时，电流将趋于饱和而达到电子饱和电流值，但电流也会因探针有效收集面积的增加而随电压增加，这与探针的几何形状有关。不过当探针电压变化时，它的有效收集面积也会有所改变，进而引起离子饱和电流的改变。当然由于离子的质量远大于电子，所以离子饱和电流远小于电子饱和电流。变化规律正如上图典型的探针电压-电流特征曲线所示。
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