低温等离子体清洗机设备介绍
文章导读:低温等离子体清洗机是一种在科研、工业生产领域中应用非常广泛的等离子清洗设备,等离子体具有温度较低(约50~80℃)、所含能量高、活性较高等特点。从设备使用的压强环境来分,低温等离子体清洗机可分为常压大气式和低压真空型等离子清洗机两种。
一、低温等离子体清洗机的用途与功能
低温等离子体清洗机在半导体、汽车制造、生物yi疗、航空航天、精密电子、材料科学等行业都有应用,其主要的用途和功能有:去除灰尘和油污、去静电;提高表面浸润性能,形成活化表面;提高表面附着能力、提高表面粘接的可靠性和持久性;对材料表面的粗化、刻蚀的处理作用。
二、常压式和真空式低温等离子体清洗机
1. 常压大气式的低温等离子体清洗机是在大气常压下,使用压缩气体通过一个内置有高压电极的喷枪,当气体通过时,气体会被电离成等离子体状态,外观上看,就像是点状和面状的等离子体焰,通过与材料表面匀速接触,从而达到相关处理目的,这类设备的优点是不需要抽真空,可以很方便的加装到生产线上,处理效率很高。
2. 真空式低温等离子体清洗机是在一个密闭的腔体中设置两个电极形成电场,用真空泵实现和保持腔体内一定的真空度,随着真空泵的持续工作,腔体内逐渐形成真空环境,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈大,并且在电场的作用下,它们发生碰撞而形成等离子体,其中包括原子、分子、离子、电子、化学基团、激发态原子、活化的分子及自由基,这些离子的活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应,但整个等离子体呈电中性,不会伤害材料。
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低温等离子体清洗机在半导体、汽车制造、生物yi疗、航空航天、精密电子、材料科学等行业都有应用,其主要的用途和功能有:去除灰尘和油污、去静电;提高表面浸润性能,形成活化表面;提高表面附着能力、提高表面粘接的可靠性和持久性;对材料表面的粗化、刻蚀的处理作用。
二、常压式和真空式低温等离子体清洗机
1. 常压大气式的低温等离子体清洗机是在大气常压下,使用压缩气体通过一个内置有高压电极的喷枪,当气体通过时,气体会被电离成等离子体状态,外观上看,就像是点状和面状的等离子体焰,通过与材料表面匀速接触,从而达到相关处理目的,这类设备的优点是不需要抽真空,可以很方便的加装到生产线上,处理效率很高。