等离子清洗机行业中所说的朗缪尔探针法是什么？
文章导读：对等离子清洗机有过一定了解的，相信都知道，等离子体的参数不同，对产品和材料的处理效果会有很大不同。那么对等离子体参数的测量和诊断，对真空或大气型的等离子清洗机设备均具有重要意义。行业内所说的朗缪尔探针实际上就是一种等离子体诊断的工具，今天赢咖7就来与大家探讨与介绍这一常用的等离子体诊断方式。
对等离子清洗机有过一定了解的，相信都知道，等离子体的参数不同，对产品和材料的处理效果会有很大不同。那么对等离子体参数的测量和诊断，对真空或大气型的等离子清洗机设备均具有重要意义。行业内所说的朗缪尔探针实际上就是一种等离子体诊断的工具，今天赢咖7就来与大家探讨与介绍这一常用的等离子体诊断方式。
朗缪尔探针其实是一种静电探针，它发明时间较早，且诊断方法也比较容易理解，因此现如今仍在沿用，比较具有代表性，这种静电探针方式是通过将一根金属探针插入到等离子体当中，并且在探针上施加正或负的偏置电压，从而来收集电子或离子电流。跟其他任一电极相同，探针的周边会产生一个鞘层，而且其面积通常是很小的，因而，在某些适当的条件下，探针法只对等离子体产生很小的局域干扰。下面的图片表示出一个探针的电压和电流的定义。
在具体的诊断过程中，探针相对于地的偏置电压为VB,而此时等离子体跟地相对的电位为φp。当探针电压Vb=φp时，探针处于跟等离子体一致的电位，此时它收集到的电流主要来自易动的电子。当增加Vb并使其超过φp时，电流将趋于饱和而达到电子饱和电流值，但电流也会因探针有效收集面积的增加而随电压增加，这跟探针的几何形状有一定关系。不过当探针电压发生变化，它的有效收集面积也会有一定改变，进而导致离子饱和电流的改变。当然由于离子的质量远大于电子，所以离子饱和电流远小于电子饱和电流。变化规律正如下图典型的探针电压-电流特征曲线所示。
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